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日本進口YATAKA半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器R20系列

更新時間:2024-05-07      瀏覽次數(shù):425

日本進口YATAKA半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器R20系列


R20系列是專為高壓、高純氣體設(shè)計的產(chǎn)品。這是舊ERS系列的后繼產(chǎn)品,其基本結(jié)構(gòu)是內(nèi)置過濾器和與主體的螺紋連接,使其成為一種高度通用的產(chǎn)品,可以安裝各種配件。

車身承插焊支持UJR等焊接接頭規(guī)格。

功能高壓

焊接規(guī)格 金屬墊片接頭 旋

入式規(guī)格 雙壓縮環(huán)

接頭 氣缸安裝調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體氣體以外的氣體標準流量~60NL/分鐘

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa

(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa) 

氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.00086MPa 

承受壓力 22.2MPa(進口側(cè)) 

CV值 0.08 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 螺紋規(guī)格(P):1×10-9Pa·m3/s·He(真空方式)

焊接規(guī)格(W):1×10-11Pa·m3/s·He(真空方式)

(但是,等級“C"( N2氣24小時封裝測試) 

內(nèi)部容積 4.67cm(不含3個壓力表及接頭) 

大量的 約1.29公斤 


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