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日本JUSTEM晶圓檢測/測量設備手動測厚機

日本JUSTEM晶圓檢測/測量設備手動測厚機 STM-06

手動手柄和秤允許在固定位置進行測量。

  • 產品型號:STM-06
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-10-07
  • 訪  問  量:344
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詳細介紹

日本JUSTEM晶圓檢測/測量設備手動測厚機 STM-06 的特點介紹


手動手柄和秤允許在固定位置進行測量。

通過真空吸附將晶圓固定在平臺上。防止測量造成的劃傷。

測量數據以 EXCEL 文件形式保存在連接的計算機上。
測量結果顯示在PC上,方便查看。
還可根據要求提供地圖顯示等。


日本JUSTEM晶圓檢測/測量設備手動測厚機 STM-06 的特點介紹

目標工作硅(硅)
工作尺寸φ4、5、6英寸
工作厚度80 至 1,500μm
設備類型桌面型
安裝環(huán)境1000級
設備尺寸寬426×深548×高323(毫米)
設備重量70公斤
電源電壓單相100V 50/60Hz 共用
真空-50KPa
測量傳感器色差共焦傳感器
測量精度
重復10次
標準偏差0.1μm以下
測量點任意多點測量



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