日本mitaka非接觸式表面粗糙度快速測(cè)量裝置 PF系列 特點(diǎn)介紹

通過使用可實(shí)現(xiàn)指數(shù)測(cè)量速度提高 50 倍的掃描 AF 功能和高精度自動(dòng) XY 工作臺(tái)，我們實(shí)現(xiàn)了數(shù)十毫米大范圍內(nèi)的高速測(cè)量，測(cè)量精度達(dá)到亞微米級(jí)。

非常適合測(cè)量無法使用截面曲線檢測(cè)到的精密加工零件的翹曲、成型產(chǎn)品的缺陷形狀以及摩擦學(xué)中磨損和劃痕的定量評(píng)估。

使用半徑為R0.5μm的激光探頭和高精度XY平臺(tái)，我們可以直接測(cè)量數(shù)十毫米的范圍，測(cè)量精度為亞微米級(jí)。

高速掃描自動(dòng)對(duì)焦功能可實(shí)現(xiàn)廣域/高速測(cè)量。

以前需要 1 小時(shí) 20 分鐘的測(cè)量時(shí)間現(xiàn)在只需 6 分鐘。

高靈敏度自動(dòng)對(duì)焦傳感器可捕獲表面的輕微反射光。能夠直接精確測(cè)量陡坡和臺(tái)階。

日本mitaka非接觸式表面粗糙度快速測(cè)量裝置 PF系列 規(guī)格參數(shù)

一邊在測(cè)量畫面上監(jiān)視工件一邊進(jìn)行測(cè)量

觀察并測(cè)量。通過簡單的操作即可測(cè)量高度。

通過載玻片的一鍵操作，您可以輕松地在用于觀察的低倍率鏡頭和用于測(cè)量的高倍率鏡頭之間切換。

測(cè)量概覽

PF-60 由用于 Z 軸高度測(cè)量的自動(dòng)對(duì)焦 (AF) 顯微鏡和用于掃描的高精度 XY 平臺(tái)組成。

使用AF顯微鏡測(cè)量高度方向的位置，通過在XY和平臺(tái)上移動(dòng)工件，捕獲XYZ坐標(biāo)值并測(cè)量形狀。

掃描XY平臺(tái)

由于系統(tǒng)使用高精度XY平臺(tái)讀取坐標(biāo)軸，因此可以在可移動(dòng)范圍（60mm x 60mm）內(nèi)連續(xù)測(cè)量。由于沒有視野范圍等測(cè)量精度，因此不需要連接測(cè)量數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行大范圍的高精度測(cè)量。

點(diǎn)聚焦型

用于高度測(cè)量的AF顯微鏡內(nèi)置的激光沿上圖紅線所示的光路穿過物鏡，在測(cè)量工件表面形成圖像，作為半徑為0.5的激光探頭微米。

激光探頭從工件表面反射的光再次穿過物鏡并在 AF 傳感器上形成圖像，但當(dāng)激光探頭離開焦點(diǎn)位置時(shí)，AF 傳感器上的光斑位置也會(huì)發(fā)生變化。AF傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)光斑的位置位移，并通過操作AF軸機(jī)構(gòu)定位AF顯微鏡，使光斑始終以傳感器為中心。