日本ceramic forum晶片內(nèi)位錯檢測儀便攜式 Crystalline Tester CS1 特點介紹

"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光（波長400～800nm）透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應(yīng)力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設(shè)備。

通過本設(shè)備可以實現(xiàn)快速、準確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態(tài)。

日本ceramic forum晶片內(nèi)位錯檢測儀便攜式 Crystalline Tester CS1 規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品特長 高速測量（6" 襯底　90秒）

?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應(yīng)力分布。

縱向結(jié)晶評價

?因為是透視型結(jié)晶評價裝置，所以不只可以觀察襯底表面，還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。

可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果

?可以取得同等測試效果，實現(xiàn)高速低成本。

價格競爭力

?在晶片測量裝置中，屬于性價比好的一款系統(tǒng)。

 可測量材料 SiC單晶襯底、及SiC外延襯底

GaN單晶襯底、及GaN外延襯底

AlN單晶襯底、及AlN外延襯底

可視光可透視、有雙折射效果的結(jié)晶均可。

 測試效果不佳材料 ?無可視光透視性材料：Si、GaAs等

?無雙折射效果材料：藍寶石、Ga2O3 等