日本進口filgen等離子鍍膜機EVO涂層多功能 OPC60A 特點介紹

這是一種以SEM樣品為主的導(dǎo)電性薄膜的制造裝置，采用“利用直流輝光放電的負輝光相區(qū)域的等離子膜制造方法"。

用鋨離子鍍膜

機電鏡觀察 　解決您的難題！

它對于防止充電、減少顆粒感和熱損傷非常有效

鋨等離子鍍膜機是一種主要用于SEM樣品的導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)裝置，采用“使用直流輝光放電的負輝光相區(qū)域的等離子成膜方法"。

導(dǎo)電鋨薄膜可以使用獲得的直流等離子體CVD方法形成（在負輝光相區(qū)域內(nèi)成膜）。

自動操作允許任何人安全地沉積鋨薄膜并具有良好的再現(xiàn)性。

日本進口filgen等離子鍍膜機EVO涂層多功能 OPC60A 規(guī)格參數(shù)

該產(chǎn)品陣容包括鋨薄膜專用型號和配備使用萘的等離子聚合膜機構(gòu)的兩用型號。

可選配超薄膜形成機構(gòu)、親水處理機構(gòu)、深樣品機構(gòu)，支持各種應(yīng)用。

此外，除了傳統(tǒng)的開關(guān)型外，鋨薄膜型號的產(chǎn)品陣容中還新增了觸摸屏型。

對于要用掃描電子顯微鏡（SEM）成像的樣品，必須在樣品表面形成導(dǎo)電薄膜，以防止其因電子束照射而帶電。

傳統(tǒng)上，導(dǎo)電薄膜是使用濺射或金蒸發(fā)方法形成的。然而，人們擔(dān)心樣品表面的顆粒度以及樣品熱損傷造成的損壞。

因此，Philgen 開發(fā)了鋨等離子體鍍膜機，這是一種可以利用直流等離子體 CVD（負輝光相區(qū)域成膜）方法形成導(dǎo)電鋨薄膜的設(shè)備。

當(dāng)少量（OsO4）氣體/萘氣體（C10H18）通入真空室并引起輝光放電時，瞬間變成等離子態(tài)，分為正輝光相區(qū)和負輝光相區(qū)。

此時，電離的分子立即附著并沉積在置于陰極板負輝相區(qū)域的樣品表面上，形成非晶態(tài)鋨薄膜/等離子體聚合膜（萘）。

鋨薄膜是非晶態(tài)的，因此不會對樣品造成熱損傷，并且當(dāng)用SEM對涂層樣品進行拍照時，可以獲得極其清晰的圖像，沒有顆粒感。