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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置

日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302

●硅片的處理過程是自動化的,從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。
●疏水性和親水性晶圓均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圓)。
●當(dāng)需要同時對大量晶圓進(jìn)行采樣和分析時,這是一種極其強(qiáng)大的設(shè)備。
●具有對回收的藥液進(jìn)行計量和稀釋的功能,防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。

  • 產(chǎn)品型號:NAC-302
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-12
  • 訪  問  量:408
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聯(lián)系電話:13823182047

詳細(xì)介紹

日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302 特點介紹


●硅片的處理過程是自動化的,從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。

●疏水性和親水性晶圓均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圓)。

●當(dāng)需要同時對大量晶圓進(jìn)行采樣和分析時,這是一種極其強(qiáng)大的設(shè)備。

●具有對回收的藥液進(jìn)行計量和稀釋的功能,防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。

●雙門結(jié)構(gòu),防止工作空間內(nèi)的酸性氣氛和工人的污染。

●配備自動清潔取樣用支架的功能,減少操作員的工作量(*前支架和側(cè)支架兼容)。

我們還擁有全自動執(zhí)行“批量蝕刻→晶圓污染恢復(fù)"的設(shè)備(NAC-304)。

此外,近年來,為了減少污染,對能夠執(zhí)行“整體蝕刻→晶片污染回收→ICP-MS連接和自動元素分析"整個過程的設(shè)備的需求非常高(NAC-316)。


日本nasgiken微量金屬污染物自動回收裝置 NAC-302 規(guī)格參數(shù)


設(shè)備名稱 NAC-302 NAC-304 NAC-316 

兼容晶圓尺寸 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 300毫米 

內(nèi)置電腦 

外形尺寸(寬×深×高)(毫米)(*1)1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300

使用設(shè)備酸排放、一般廢氣、酸廢氣

使用地點無塵室內(nèi)部


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